一種旋轉(zhuǎn)式氣相沉積爐的冷卻裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202021046515.2 申請日 -
公開（公告）號 CN212253683U 公開（公告）日 2020-12-29
申請公布號 CN212253683U 申請公布日 2020-12-29
分類號 F27D9/00(2006.01)I;C23C16/44(2006.01)I 分類 爐；窯；烘烤爐；蒸餾爐〔4〕;
發(fā)明人 王孟光;高貴華;陳志強 申請（專利權）人 洛陽聯(lián)創(chuàng)鋰能科技有限公司
代理機構 洛陽公信知識產(chǎn)權事務所（普通合伙） 代理人 洛陽聯(lián)創(chuàng)鋰能科技有限公司
地址 471039河南省洛陽市宜陽縣產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)建業(yè)路1號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種旋轉(zhuǎn)式氣相沉積爐的冷卻裝置，旋轉(zhuǎn)式氣相沉積爐呈中空的圓柱體，冷卻裝置包括熱傳導冷卻機構和噴淋水冷卻機構；熱傳導冷卻機構包括多個均布于旋轉(zhuǎn)式氣相沉積爐外壁上的翅片；噴淋水冷卻機構包括冷卻筒，冷卻筒包括圓筒以及與圓筒的兩端部滿焊連接的環(huán)形擋板I，旋轉(zhuǎn)式氣相沉積爐通過環(huán)形擋板I上的中心孔貫穿與其間隙配合的冷卻筒，冷卻筒的上部設有通過管路與儲水池中的水泵連接的進水管，進水管上間隔設有多個噴頭，冷卻筒的下部豎直設有多個出水管，出水管遠離冷卻筒的一端與換熱器管路連接后延伸至儲水池中。該冷卻裝置將熱傳導冷卻機構和噴淋水冷卻機構相結合，提高了旋轉(zhuǎn)式氣相沉積爐的散熱速度，實現(xiàn)了快速冷卻。??