靜電保護(hù)單元及其測試方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110784370.9 申請日 -
公開（公告）號 CN113506799A 公開（公告）日 2021-10-15
申請公布號 CN113506799A 申請公布日 2021-10-15
分類號 H01L27/02（2006.01）I;G01R29/12（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 曾健忠 申請（專利權(quán)）人 深圳天狼芯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳中一聯(lián)合知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 陽方玉
地址 518000廣東省深圳市福田區(qū)車公廟金潤大廈18E
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及集成電路制造，提供了一種靜電保護(hù)單元及其測試方法，靜電保護(hù)單元包括：靜電釋放晶體管，在有靜電時控制靜電釋放晶體管打開以釋放靜電的靜電檢測電路，以及可靠測試電路，可靠測試電路用于檢測所述靜電釋放晶體管在預(yù)設(shè)時長內(nèi)的導(dǎo)通次數(shù)，若所述預(yù)設(shè)時長內(nèi)的導(dǎo)通次數(shù)超過預(yù)設(shè)次數(shù)，則控制所述靜電釋放晶體。通過偵測靜電釋放晶體管是否頻繁的打開，并設(shè)定一個合理的開啟次數(shù)，只要靜電釋放晶體管打開的次數(shù)超過預(yù)設(shè)次數(shù)，即可判定靜電保護(hù)單元發(fā)生異了，應(yīng)予以強(qiáng)制關(guān)閉，以用于應(yīng)對在先進(jìn)或是高壓工藝開發(fā)時，器件漏電可能引發(fā)靜電防護(hù)電路異常動作，以避免器件、芯片及測試機(jī)嚴(yán)重?fù)p壞。