靜電保護(hù)單元及其測(cè)試方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202110784370.9 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113506799A | 公開（公告）日 | 2021-10-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113506799A | 申請(qǐng)公布日 | 2021-10-15 |
| 分類號(hào) | H01L27/02（2006.01）I;G01R29/12（2006.01）I;G01R31/26（2014.01）I | 分類 | 基本電氣元件; |
| 發(fā)明人 | 曾健忠 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 深圳天狼芯半導(dǎo)體有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 深圳中一聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 陽方玉 |
| 地址 | 518000廣東省深圳市福田區(qū)車公廟金潤大廈18E | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申請(qǐng)涉及集成電路制造，提供了一種靜電保護(hù)單元及其測(cè)試方法，靜電保護(hù)單元包括：靜電釋放晶體管，在有靜電時(shí)控制靜電釋放晶體管打開以釋放靜電的靜電檢測(cè)電路，以及可靠測(cè)試電路，可靠測(cè)試電路用于檢測(cè)所述靜電釋放晶體管在預(yù)設(shè)時(shí)長(zhǎng)內(nèi)的導(dǎo)通次數(shù)，若所述預(yù)設(shè)時(shí)長(zhǎng)內(nèi)的導(dǎo)通次數(shù)超過預(yù)設(shè)次數(shù)，則控制所述靜電釋放晶體。通過偵測(cè)靜電釋放晶體管是否頻繁的打開，并設(shè)定一個(gè)合理的開啟次數(shù)，只要靜電釋放晶體管打開的次數(shù)超過預(yù)設(shè)次數(shù)，即可判定靜電保護(hù)單元發(fā)生異了，應(yīng)予以強(qiáng)制關(guān)閉，以用于應(yīng)對(duì)在先進(jìn)或是高壓工藝開發(fā)時(shí)，器件漏電可能引發(fā)靜電防護(hù)電路異常動(dòng)作，以避免器件、芯片及測(cè)試機(jī)嚴(yán)重?fù)p壞。 |
