一種MEMS麥克風(fēng)結(jié)構(gòu)及其制作方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202011117387.0 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN114390415A | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-04-22 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN114390415A | 申請(qǐng)公布日 | 2022-04-22 |
| 分類號(hào) | H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I;H04R31/00（2006.01）I | 分類 | 電通信技術(shù); |
| 發(fā)明人 | 王青松 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 瑤芯微電子科技（上海）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 劉星 |
| 地址 | 201207上海市浦東新區(qū)中國(guó)（上海）自由貿(mào)易試驗(yàn)區(qū)芳春路400號(hào)1幢3層 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明提供一種MEMS麥克風(fēng)結(jié)構(gòu)及其制作方法，該MEMS麥克風(fēng)結(jié)構(gòu)包括基板、振膜及支架，其中，所述基板中設(shè)有在垂直方向上貫穿所述基板的空腔；所述振膜懸設(shè)于所述空腔上方，所述振膜包括折疊結(jié)構(gòu)，所述折疊結(jié)構(gòu)在垂直方向上來(lái)回彎折；所述支架連接于所述振膜與所述基板之間，且所述折疊結(jié)構(gòu)與所述振膜的中心之間的距離小于所述支架與所述振膜的中心之間的距離。本發(fā)明中，振膜包括用于增加振膜柔性程度和降低振膜內(nèi)應(yīng)力的折疊結(jié)構(gòu)，且所述折疊結(jié)構(gòu)呈直角彎折，當(dāng)為了達(dá)到更好的應(yīng)力釋放效果而增加折疊結(jié)構(gòu)的數(shù)量時(shí)，相比于弧形結(jié)構(gòu)，本發(fā)明能夠有效減小折疊區(qū)域所占用的振膜面積。 |
