一種MEMS麥克風結構

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011642749.8 申請日 -
公開（公告）號 CN114697840A 公開（公告）日 2022-07-01
申請公布號 CN114697840A 申請公布日 2022-07-01
分類號 H04R19/00（2006.01）I;H04R19/04（2006.01）I 分類 電通信技術;
發(fā)明人 王青松 申請（專利權）人 瑤芯微電子科技（上海）有限公司
代理機構 上海光華專利事務所（普通合伙） 代理人 -
地址 201207上海市浦東新區(qū)中國（上海）自由貿易試驗區(qū)芳春路400號1幢3層
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種MEMS麥克風結構，包括振膜、背極、背板、一中心聲孔及多個外圍聲孔，其中，背極位于振膜上方，并在垂直方向上與背極間隔預設距離以形成氣隙；背板的至少一部分連接于背極的上表面以支撐背極；中心聲孔位于背極的中心，并在垂直方向上貫穿背極與背板；多個外圍聲孔分布于中心聲孔的外圍，并以中心聲孔為中心呈同心圓分布，背極的邊緣不經(jīng)過任意一外圍聲孔。本發(fā)明優(yōu)化了聲孔的排列分布方式，可以較容易控制背極邊緣位于兩圈呈同心圓分布的外圍聲孔之間，而不與開有聲孔的背板部位相交，從而有效減小背極邊緣與背板交界處的應力集中，避免其容易受到應力集中作用的部分產生裂紋而損壞，從而提高了MEMS麥克風的機械可靠性。