一種用于半導(dǎo)體蝕刻反應(yīng)腔室的全自動(dòng)刷鍍鎳的電鍍刷
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202021668441.6 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN212834079U | 公開（公告）日 | 2021-03-30 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN212834079U | 申請(qǐng)公布日 | 2021-03-30 |
| 分類號(hào) | C25D5/06(2006.01)I;C25D21/12(2006.01)I | 分類 | 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕; |
| 發(fā)明人 | 黎糾 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 帝京半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 杭州知杭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） | 代理人 | 夏艷 |
| 地址 | 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)竹園路209號(hào)4號(hào)樓8樓803-2 | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型公開了一種用于半導(dǎo)體蝕刻反應(yīng)腔室的全自動(dòng)刷鍍鎳的電鍍刷，包括燕尾連接件，儲(chǔ)液盒，金屬固定板和金屬絲；燕尾連接件由連接部和移動(dòng)部組成，連接部為燕尾凸臺(tái)，移動(dòng)部為中空的長方體結(jié)構(gòu)，移動(dòng)部內(nèi)置有儲(chǔ)液盒，移動(dòng)部與金屬固定板固定連接。本實(shí)用新型的優(yōu)點(diǎn)在于電鍍刷設(shè)置有金屬絲，金屬絲能夠完全貼合被鍍工件的彎曲表面，保證刷鍍時(shí)鍍層均勻；第一紅外傳感器和第二紅外傳感器位于金屬板的斜對(duì)角處，通過紅外測距從而檢測金屬固定板與被鍍件的距離和角度狀態(tài)，提高電鍍刷的電鍍精確度。?? |
