一種用于半導(dǎo)體設(shè)備零部件的陽(yáng)極氧化裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022949368.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN213925079U 公開（公告）日 2021-08-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN213925079U 申請(qǐng)公布日 2021-08-10
分類號(hào) C25D11/02（2006.01）I;C25D17/00（2006.01）I;C25D7/12（2006.01）I 分類 電解或電泳工藝；其所用設(shè)備〔4〕;
發(fā)明人 黎糾 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 帝京半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州知杭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 夏艷
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)竹園路209號(hào)4號(hào)樓8樓803-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于半導(dǎo)體設(shè)備零部件的陽(yáng)極氧化裝置,屬于氧化設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，其包括包括箱體，所述箱體內(nèi)部開設(shè)有氧化腔，且上部開口，所述氧化腔兩側(cè)設(shè)置有傳動(dòng)腔，所述傳動(dòng)腔內(nèi)部設(shè)置有第一絲杠，所述傳動(dòng)腔上部設(shè)置有第一驅(qū)動(dòng)室，所述第一驅(qū)動(dòng)室內(nèi)部固定安裝有第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)，所述第一驅(qū)動(dòng)電機(jī)輸出軸與所述第一絲杠通過聯(lián)軸器連接，所述第一絲杠外緣螺紋套接有第一滑塊，所述第一滑塊外緣固定連接有連接板。本實(shí)用新型能夠靈活地對(duì)工件進(jìn)行夾持，并且適應(yīng)不同尺寸的工件，無需多次調(diào)整，省去了較多工序，提高了工作效率；通過設(shè)置的第一絲杠和第一滑塊能夠方便地調(diào)節(jié)夾持桿的高度位置，方便工件下深到不同部位，有助于實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)的采集。