一種半導(dǎo)體設(shè)備零部件表面處理生產(chǎn)線

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022950939.8 申請日 -
公開（公告）號 CN214203617U 公開（公告）日 2021-09-14
申請公布號 CN214203617U 申請公布日 2021-09-14
分類號 H01L21/67;H01L21/687 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 黎糾 申請（專利權(quán)）人 帝京半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
代理機構(gòu) 杭州知杭知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 夏艷
地址 215000 江蘇省蘇州市高新區(qū)竹園路209號4號樓8樓803-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及一種半導(dǎo)體設(shè)備零部件表面處理生產(chǎn)線,屬于半導(dǎo)體器件表面處理技術(shù)領(lǐng)域，其包括平臺，所述平臺上部兩側(cè)設(shè)置有滑動槽，所述滑動槽中設(shè)置有傳動桿，所述傳動桿套設(shè)有第一電動滑塊，所述第一電動滑塊上部固定連接有電動伸縮桿，能夠根據(jù)不同型號的工具進(jìn)行高度上的調(diào)節(jié)，提高了裝置適應(yīng)范圍，相稱設(shè)置的所述電動伸縮桿上端之間設(shè)置有連接板，兩個所述連接板之間連接有轉(zhuǎn)動柱，所述轉(zhuǎn)動柱下端固定連接有夾持手臂，用于夾持半導(dǎo)體零部件；所述滑動槽之間設(shè)置有清洗機構(gòu)、風(fēng)干機構(gòu)和加工機構(gòu)。本實用新型能夠?qū)崿F(xiàn)生產(chǎn)工序的集中管控，提高了生產(chǎn)自動化的水平，能夠更加有效的對半導(dǎo)體表面進(jìn)行處理。