一種用于半導(dǎo)體設(shè)備零部件的真空氮?dú)夂嫦?/p>

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022949369.0 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214307887U 公開（公告）日 2021-09-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN214307887U 申請(qǐng)公布日 2021-09-28
分類號(hào) F26B5/04（2006.01）I;F26B11/18（2006.01）I;F26B21/00（2006.01）I;F26B21/06（2006.01）I;F26B25/18（2006.01）I;F26B25/02（2006.01）I 分類 干燥;
發(fā)明人 黎糾 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 帝京半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 杭州知杭知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 夏艷
地址 215000江蘇省蘇州市高新區(qū)竹園路209號(hào)4號(hào)樓8樓803-2
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及一種用于半導(dǎo)體設(shè)備零部件的真空氮?dú)夂嫦?屬于烘箱技術(shù)領(lǐng)域，其包括包括烘箱，所述烘箱內(nèi)部設(shè)有烘干室，所述烘干室與外部連通設(shè)置有箱門，所述烘箱內(nèi)壁中開設(shè)有第一腔室，第二腔室和第三腔室，所述第一腔室開設(shè)于所述烘箱的底部，所述第二腔室開設(shè)于所述烘箱的內(nèi)壁兩側(cè)，所述第三腔室開設(shè)于所述箱體中的上部。本裝置通過(guò)支撐板能夠?qū)⒐ぜ诤嫦渲修D(zhuǎn)動(dòng)受熱，使其受熱更加均勻；通過(guò)第二扇葉通風(fēng)管，能夠?qū)釟怏w進(jìn)行攪動(dòng)，使其分布均勻，有助于受熱均勻；在降溫階段，通過(guò)第二驅(qū)動(dòng)電機(jī)和第一扇葉，能夠進(jìn)行局部降溫，當(dāng)工件需要整體同步散熱時(shí)，啟用冷卻水管進(jìn)行快速有效的整體散熱。