一種紅外探測(cè)器及其制備方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010875005.4 申請(qǐng)日 -
公開(公告)號(hào) CN112071926A 公開(公告)日 2020-12-11
申請(qǐng)公布號(hào) CN112071926A 申請(qǐng)公布日 2020-12-11
分類號(hào) H01L31/0352(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 楊為家;邱晨;吳質(zhì)樸;何畏 申請(qǐng)(專利權(quán))人 深圳市奧倫德元器件有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州嘉權(quán)專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 代理人 深圳市奧倫德元器件有限公司
地址 518100廣東省深圳市龍崗區(qū)龍城街道黃閣路天安數(shù)碼創(chuàng)業(yè)園1號(hào)廠房B座3樓
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種紅外探測(cè)器及其制備方法,包括:光電二極管,包括上表面和下表面;薄膜,設(shè)置于光電二極管的上表面;納米點(diǎn),設(shè)置于薄膜的表面;第一電極,設(shè)置于納米點(diǎn)的表面;納米柱陣列,設(shè)置于光電二極管的下表面;第二電極,包括與納米柱陣列相配合連接的納米孔陣列,第二電極通過納米孔陣列連接到光電二極管的下表面。金屬納米孔陣列具有表面等離激元增強(qiáng)效應(yīng),可以增強(qiáng)對(duì)紅外光的吸收效率,根據(jù)不同的吸收波段,并且可以調(diào)節(jié)孔徑及其分布,從而達(dá)到最佳效果。納米點(diǎn)具有較為顯著的量子效應(yīng),可提高紅外探測(cè)器對(duì)紅外光的吸收效率和靈敏度。??