具有大深寬比嵌入式金屬線的轉(zhuǎn)接板及其制造方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201680058415.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN108475659A 公開（公告）日 2018-08-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN108475659A 申請(qǐng)公布日 2018-08-31
分類號(hào) H01L21/768;H01L21/00 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 方向明;伍榮翔;單建安 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 深圳線易科技有限責(zé)任公司
代理機(jī)構(gòu) 深圳市中知專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 深圳線易科技有限責(zé)任公司
地址 518031 廣東省深圳市福田區(qū)華強(qiáng)北街道華富路航都大廈14層1450
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種具有大深寬比嵌入式金屬線的轉(zhuǎn)接板及其制造方法，該轉(zhuǎn)接板(700)的金屬線(722,724)嵌入設(shè)置在襯底(710)內(nèi)，金屬線的深度與寬度的比值不小于1。轉(zhuǎn)接板的制造方法包括對(duì)轉(zhuǎn)接板的襯底(1301)進(jìn)行單面刻蝕，先刻蝕填充金屬導(dǎo)電體的孔，然后再同時(shí)刻蝕填充金屬導(dǎo)電體的孔(1316)和金屬線的槽(1317)。在轉(zhuǎn)接板襯底中嵌入大深寬比的金屬線，在不增加金屬線寬度的條件下，保持高的金屬線布線密度，減小金屬線的寄生電阻和寄生電感，提高轉(zhuǎn)接板的功率傳輸效率和信號(hào)傳輸帶寬，用單面工藝方法制造大深寬比嵌入式金屬線和通孔，工藝簡(jiǎn)單，成本低。