超精密芯片制造流水線

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201811017585.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN108962799B 公開(kāi)（公告）日 2021-06-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN108962799B 申請(qǐng)公布日 2021-06-22
分類(lèi)號(hào) H01L21/67;H01L21/677;B23K26/36 分類(lèi) 基本電氣元件;
發(fā)明人 不公告發(fā)明人 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人 溫州市科泓機(jī)器人科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 325000 浙江省溫州市高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)開(kāi)發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)服務(wù)中心科技企業(yè)孵化器C幢522、524室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及工業(yè)自動(dòng)化裝備，更具體地說(shuō)，涉及一種用于芯片的自動(dòng)化輸送和存儲(chǔ)裝置。超精密芯片制造流水線，包括：用于輸出芯片體的匯合軌道、用于接納芯片體的接納輸送線、用于整理并搬運(yùn)芯片體的旋轉(zhuǎn)機(jī)械手、用于對(duì)芯片體的進(jìn)行標(biāo)簽印刷的印刷機(jī)構(gòu)、用于對(duì)芯片體的位置進(jìn)行校正的擺正機(jī)構(gòu)、用于輸送芯片體的打標(biāo)輸送線、用于推送芯片體的單向機(jī)械手、用于對(duì)芯片體的側(cè)面進(jìn)行激光打標(biāo)作業(yè)的激光打標(biāo)機(jī)構(gòu)；所述接納輸送線和打標(biāo)輸送線的輸送方向相互垂直，所述接納輸送線和打標(biāo)輸送線連接的部位設(shè)置蓋板和所述單向機(jī)械手，所述激光打標(biāo)機(jī)構(gòu)位于所述打標(biāo)輸送線的側(cè)邊。本發(fā)明超精密芯片制造流水線，用于實(shí)現(xiàn)芯片的自動(dòng)化輸送和制造。