一種含銅蝕刻廢液回收裝置和含銅蝕刻廢液回收方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202111297278.6 申請日 -
公開（公告）號 CN113737184A 公開（公告）日 2021-12-03
申請公布號 CN113737184A 申請公布日 2021-12-03
分類號 C23F1/46（2006.01）I;C01B7/01（2006.01）I;C01G3/10（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 陳福泰;解迪;郝福錦;褚永前 申請（專利權(quán)）人 北京清大國華環(huán)境技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 李愛民
地址 100089北京市海淀區(qū)上地三街9號C幢C404
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請具體公開了一種含銅蝕刻廢液回收裝置和含銅蝕刻廢液回收方法,含銅蝕刻廢液回收裝置包括蒸發(fā)結(jié)晶機(jī)構(gòu)，粉末回收機(jī)構(gòu)，噴淋回收機(jī)構(gòu)；所述蒸發(fā)結(jié)晶機(jī)構(gòu)包括殼體，殼體內(nèi)設(shè)置有支撐柱，支撐柱上轉(zhuǎn)動連接有加熱板，加熱板上方設(shè)置有結(jié)晶噴淋頭，殼體內(nèi)還設(shè)置有真空泵，所述粉末回收機(jī)構(gòu)包括刮刀；所述噴淋回收機(jī)構(gòu)包括噴淋回收倉，噴淋回收倉內(nèi)設(shè)置有回收噴淋頭。含銅蝕刻廢液回收方法包括以下步驟，S1原液檢測；S2使用硫酸和氫氧化銅調(diào)節(jié)廢液中銅離子濃度與硫酸根離子濃度相等；S3使用含銅蝕刻廢液回收裝置處理廢液。本申請的處理方法具有簡化含銅廢液處理步驟的優(yōu)點(diǎn)。