一種集成電路行業(yè)含氟廢液資源化利用的方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110910738.1 申請日 -
公開（公告）號 CN113353940A 公開（公告）日 2021-09-07
申請公布號 CN113353940A 申請公布日 2021-09-07
分類號 C01B33/10（2006.01）I;C01D3/02（2006.01）I;C01D9/12（2006.01）I 分類 無機(jī)化學(xué);
發(fā)明人 陳福泰;褚永前;楊艷;劉興甜 申請（專利權(quán)）人 北京清大國華環(huán)境技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京維正專利代理有限公司 代理人 李愛民
地址 100089北京市海淀區(qū)上地三街9號C幢C404
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本申請涉及工業(yè)廢水處理和資源回收利用技術(shù)領(lǐng)域，具體公開了一種集成電路行業(yè)含氟廢液資源化利用的方法，包括：測定含氟廢液中SiF6、F4和SO的濃度；向含氟廢液中加入氫氧化鈉的水溶液進(jìn)行一次中和反應(yīng)，得一次處理廢液和氟硅酸鈉；向一次處理廢液中加入氫氧化鈉進(jìn)行二次中和反應(yīng)，得二次處理廢液和氟化鈉；二次處理廢液經(jīng)過蒸發(fā)濃縮析出含有氟化鈉的沉淀物，得含有氟化鈉的沉淀物和三次處理廢液；向三次處理廢液中加入硝酸鈣，得固體廢料和四次處理廢液；四次處理廢液經(jīng)過結(jié)晶得五次處理廢液和硝酸鈉。本申請將含氟廢液的有效成分轉(zhuǎn)化為可回收利用資源，解決含氟廢液對環(huán)境的污染問題，且處理成本低，資源化產(chǎn)品價(jià)值高。