一種表面劃痕檢測(cè)方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010166733.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)（公告）號(hào) CN113376164A 公開(kāi)（公告）日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113376164A 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) G01N21/88（2006.01）I;H05B45/30（2020.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 馬宏 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 覺(jué)芯電子（無(wú)錫）有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 郝傳鑫;賈允
地址 214000江蘇省無(wú)錫市濱湖區(qū)菱湖大道200號(hào)中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園A802
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種表面劃痕檢測(cè)方法及裝置，所述方法包括以下步驟：生成時(shí)序控制信號(hào)；根據(jù)所述時(shí)序控制信號(hào)，向待測(cè)件表面發(fā)射準(zhǔn)直的照明光束；接收所述待測(cè)件表面的反射光，并對(duì)所述待測(cè)件表面成像；根據(jù)所述待測(cè)件表面成像信息，得到所述待測(cè)件表面的劃痕信息，本發(fā)明采用時(shí)序電信號(hào)對(duì)不同照明單元進(jìn)行控制，使系統(tǒng)更為簡(jiǎn)單，控制更加靈活便捷和高效，從不同角度對(duì)待測(cè)件進(jìn)行照明，使劃痕的成像清晰度顯著提高，漏檢率大大降低。