一種表面劃痕檢測(cè)方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202010166733.8 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN113376164A 公開(kāi)(公告)日 2021-09-10
申請(qǐng)公布號(hào) CN113376164A 申請(qǐng)公布日 2021-09-10
分類號(hào) G01N21/88(2006.01)I;H05B45/30(2020.01)I 分類 測(cè)量;測(cè)試;
發(fā)明人 馬宏 申請(qǐng)(專利權(quán))人 覺(jué)芯電子(無(wú)錫)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標(biāo)代理有限公司 代理人 郝傳鑫;賈允
地址 214000江蘇省無(wú)錫市濱湖區(qū)菱湖大道200號(hào)中國(guó)傳感網(wǎng)國(guó)際創(chuàng)新園A802
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開(kāi)了一種表面劃痕檢測(cè)方法及裝置,所述方法包括以下步驟:生成時(shí)序控制信號(hào);根據(jù)所述時(shí)序控制信號(hào),向待測(cè)件表面發(fā)射準(zhǔn)直的照明光束;接收所述待測(cè)件表面的反射光,并對(duì)所述待測(cè)件表面成像;根據(jù)所述待測(cè)件表面成像信息,得到所述待測(cè)件表面的劃痕信息,本發(fā)明采用時(shí)序電信號(hào)對(duì)不同照明單元進(jìn)行控制,使系統(tǒng)更為簡(jiǎn)單,控制更加靈活便捷和高效,從不同角度對(duì)待測(cè)件進(jìn)行照明,使劃痕的成像清晰度顯著提高,漏檢率大大降低。