一種集成透鏡陣列的微鏡、微鏡制備方法及激光顯示系統(tǒng)

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201911256973.0 申請日 -
公開（公告）號 CN113031256A 公開（公告）日 2021-06-25
申請公布號 CN113031256A 申請公布日 2021-06-25
分類號 G02B26/08;G02B3/00;G03F7/00;B82Y40/00;B82Y20/00;B81C1/00;B81B7/02;G02B27/48 分類 光學;
發(fā)明人 馬宏 申請（專利權(quán)）人 覺芯電子（無錫）有限公司
代理機構(gòu) 廣州三環(huán)專利商標代理有限公司 代理人 郝傳鑫;賈允
地址 214000 江蘇省無錫市濱湖區(qū)菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園A802
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種集成透鏡陣列的微鏡，所述微鏡包括基材層、反射層和透鏡層，所述反射層設(shè)于所述基材層上方的特定區(qū)域內(nèi)，所述透鏡層位于所述反射層的上方，且所述透鏡層為通過納米壓印或納米打印或光刻膠熱熔工藝制成；所述透鏡層為微透鏡陣列或菲涅爾透鏡陣列。本發(fā)明透鏡陣列層由納米壓印技術(shù)或納米打印技術(shù)制造，其單元透鏡的口徑與精度高，散斑抑制效果好，同時，通過設(shè)計合理的微納結(jié)構(gòu)以及改進加工方式，降低光能損失，有利于進行激光顯示。