一種用于硅片表面刻蝕沖洗后吹干的風(fēng)刀
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN201820899192.8 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN208382820U | 公開（公告）日 | 2019-01-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN208382820U | 申請(qǐng)公布日 | 2019-01-15 |
| 分類號(hào) | F26B21/00 | 分類 | 干燥; |
| 發(fā)明人 | 吳文州 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 浙江利為高科能源有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 寧波浙成知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（特殊普通合伙） | 代理人 | 永嘉利為新能源有限公司;安固集團(tuán)有限公司 |
| 地址 | 325102 浙江省溫州市永嘉縣東甌街道和一工業(yè)區(qū)(浙江良精新能源股份有限公司內(nèi)) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 一種用于硅片表面刻蝕沖洗后吹干的風(fēng)刀，包括縱向截面為球形的儲(chǔ)氣空腔、多根進(jìn)氣管、刀身和充氣升壓裝置，所述的進(jìn)氣管沿長(zhǎng)度方向設(shè)于儲(chǔ)氣空腔頂部，進(jìn)氣管與儲(chǔ)氣空腔內(nèi)部空腔連通，所述的刀身設(shè)于儲(chǔ)氣空腔底部，刀身內(nèi)沿進(jìn)氣管排列方向開有一條或多條相間的風(fēng)槽，所述的風(fēng)槽與儲(chǔ)氣空腔內(nèi)部空腔連通，所述的充氣升壓裝置將升壓后的氣體經(jīng)進(jìn)氣管充入儲(chǔ)氣空腔后，經(jīng)刀身內(nèi)的風(fēng)槽壓出風(fēng)槽外吹干硅片表面。風(fēng)槽的設(shè)計(jì)能均勻地吹干帶有水分的硅片表面，多根進(jìn)氣管排列的設(shè)計(jì)使整體風(fēng)刀在進(jìn)氣和出氣過(guò)程中，不會(huì)出現(xiàn)現(xiàn)有技術(shù)的風(fēng)刀中進(jìn)氣管附近的氣壓較大，遠(yuǎn)離進(jìn)氣管的部分氣壓不足的問(wèn)題，整體風(fēng)刀的氣流和氣壓更為均勻，吹干效果更好。 |
