一種砷化鎵拋光片樣品厚度測(cè)量工裝

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202022224972.2 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN213301042U 公開(kāi)(公告)日 2021-05-28
申請(qǐng)公布號(hào) CN213301042U 申請(qǐng)公布日 2021-05-28
分類號(hào) G01B5/06(2006.01)I 分類 -
發(fā)明人 卜俊鵬 申請(qǐng)(專利權(quán))人 浙江康鵬半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 321100浙江省金華市蘭溪市蘭江街道創(chuàng)新大道1199號(hào)(自主申報(bào))
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及質(zhì)量檢測(cè)技術(shù)領(lǐng)域,且公開(kāi)了一種砷化鎵拋光片樣品厚度測(cè)量工裝,包括測(cè)量箱,所述測(cè)量箱內(nèi)壁頂部固定安裝有滑軌,所述滑軌底部滑動(dòng)連接有齒條板,所述測(cè)量箱內(nèi)壁前后兩側(cè)之間固定安裝有固定桿,所述固定桿外側(cè)活動(dòng)連接有與齒條板底部嚙合的第一齒輪,所述測(cè)量箱內(nèi)壁后側(cè)固定安裝有位于固定桿下方的固定軸,所述固定軸前側(cè)活動(dòng)連接有與第一齒輪嚙合的第二齒輪,所述第二齒輪前側(cè)固定連接有一端延伸至測(cè)量箱前側(cè)的轉(zhuǎn)動(dòng)軸。該砷化鎵拋光片樣品厚度測(cè)量工裝,將樣品水平放置從前至后由固定輪與活動(dòng)輪之間接觸點(diǎn)滑入,指針偏轉(zhuǎn),即可將拋光片的厚度測(cè)量值進(jìn)行放大,方便了使用者使用。??