一種砷化鎵晶片表面清洗工裝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022164115.8 申請日 -
公開（公告）號 CN213826085U 公開（公告）日 2021-07-30
申請公布號 CN213826085U 申請公布日 2021-07-30
分類號 B08B3/02（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 卜俊鵬 申請（專利權(quán)）人 浙江康鵬半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 321100浙江省金華市蘭溪市蘭江街道創(chuàng)新大道1199號（自主申報(bào)）
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及砷化鎵加工技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種砷化鎵晶片表面清洗工裝，包括底板，所述底板的頂部固定安裝有數(shù)量為兩個的支撐板，所述支撐板的頂部固定安裝有頂板。該砷化鎵晶片表面清洗工裝，通過設(shè)置第一電機(jī)和第二電機(jī)，將晶片放在左右兩側(cè)卡槽內(nèi)，彈簧的張力會使得卡塊卡住晶片，晶片底部與弧形板貼合，使得固定的更加穩(wěn)固，啟動第一電機(jī)轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)桿，固定板整體轉(zhuǎn)動，啟動第二電機(jī)轉(zhuǎn)動轉(zhuǎn)盤，轉(zhuǎn)動頭帶動轉(zhuǎn)動桿左右移動，活動桿隨之在套筒的內(nèi)部左右移動，帶動分流管和噴頭在晶片的上方左右移動，多范圍沖刷晶片，晶片的轉(zhuǎn)動使得其兩面多次沖刷，實(shí)現(xiàn)了晶片多范圍更全面的清洗，提高清洗效率，方便了使用者的使用。