伸縮驅(qū)動組件結(jié)構(gòu)和半導(dǎo)體設(shè)備

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110634353.7 申請日 -
公開（公告）號 CN113088880B 公開（公告）日 2021-08-27
申請公布號 CN113088880B 申請公布日 2021-08-27
分類號 C23C14/04（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I 分類 對金屬材料的鍍覆；用金屬材料對材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 方合;張慧;崔世甲;宋維聰 申請（專利權(quán)）人 上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司
代理機構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 盧炳瓊
地址 201201上海市浦東新區(qū)慶達(dá)路315號13幢3F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種伸縮驅(qū)動組件結(jié)構(gòu)，包括驅(qū)動單元和多個滑動伸縮單元，多個滑動伸縮單元與多個待伸縮結(jié)構(gòu)一一對應(yīng)連接；各滑動伸縮單元包括推桿、可伸縮管、絲桿、滑塊、導(dǎo)軌、帶動塊、固定塊、阻尼塊、第一限位塊和第二限位塊；可伸縮管一端與待伸縮結(jié)構(gòu)相連接；推桿設(shè)置于可伸縮管內(nèi)，且一端與可伸縮管密封連接；滑塊設(shè)置于所述絲桿上，且與絲桿螺紋配合，絲桿一端與驅(qū)動單元相連接，另一端延伸到導(dǎo)軌內(nèi)；帶動塊一端與滑塊相連接，另一端向上延伸；固定塊與所述推桿相固定；阻尼塊一端與固定塊相連接，另一端向下延伸，當(dāng)阻尼塊和帶動塊均處于垂直狀態(tài)時，兩者在同一平面上的投影至少部分重合。本發(fā)明有助于縮小設(shè)備體積以降低設(shè)備成本和功耗。