半導(dǎo)體鍍膜機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202130166487.1 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN306738998S 公開(kāi)(公告)日 2021-08-06
申請(qǐng)公布號(hào) CN306738998S 申請(qǐng)公布日 2021-08-06
分類號(hào) - 分類 -
發(fā)明人 李中云;宋維聰 申請(qǐng)(專利權(quán))人 上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所(普通合伙) 代理人 苗曉娟
地址 201201 上海市浦東新區(qū)慶達(dá)路315號(hào)13幢3F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 1.本外觀設(shè)計(jì)產(chǎn)品的名稱:半導(dǎo)體鍍膜機(jī)。2.本外觀設(shè)計(jì)產(chǎn)品的用途:對(duì)晶圓進(jìn)行氣相沉積的半導(dǎo)體鍍膜設(shè)備。3.本外觀設(shè)計(jì)產(chǎn)品的設(shè)計(jì)要點(diǎn):在于形狀。4.最能表明設(shè)計(jì)要點(diǎn)的圖片或照片:立體圖。