伸縮驅(qū)動(dòng)組件結(jié)構(gòu)和半導(dǎo)體設(shè)備

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110634353.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113088880A 公開（公告）日 2021-07-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN113088880A 申請(qǐng)公布日 2021-07-09
分類號(hào) C23C14/04（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I 分類 對(duì)金屬材料的鍍覆；用金屬材料對(duì)材料的鍍覆；表面化學(xué)處理；金屬材料的擴(kuò)散處理；真空蒸發(fā)法、濺射法、離子注入法或化學(xué)氣相沉積法的一般鍍覆；金屬材料腐蝕或積垢的一般抑制〔2〕;
發(fā)明人 方合;張慧;崔世甲;宋維聰 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 上海陛通半導(dǎo)體能源科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 上海光華專利事務(wù)所（普通合伙） 代理人 盧炳瓊
地址 201201上海市浦東新區(qū)慶達(dá)路315號(hào)13幢3F
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種伸縮驅(qū)動(dòng)組件結(jié)構(gòu)，包括驅(qū)動(dòng)單元和多個(gè)滑動(dòng)伸縮單元，多個(gè)滑動(dòng)伸縮單元與多個(gè)待伸縮結(jié)構(gòu)一一對(duì)應(yīng)連接；各滑動(dòng)伸縮單元包括推桿、可伸縮管、絲桿、滑塊、導(dǎo)軌、帶動(dòng)塊、固定塊、阻尼塊、第一限位塊和第二限位塊；可伸縮管一端與待伸縮結(jié)構(gòu)相連接；推桿設(shè)置于可伸縮管內(nèi)，且一端與可伸縮管密封連接；滑塊設(shè)置于所述絲桿上，且與絲桿螺紋配合，絲桿一端與驅(qū)動(dòng)單元相連接，另一端延伸到導(dǎo)軌內(nèi)；帶動(dòng)塊一端與滑塊相連接，另一端向上延伸；固定塊與所述推桿相固定；阻尼塊一端與固定塊相連接，另一端向下延伸，當(dāng)阻尼塊和帶動(dòng)塊均處于垂直狀態(tài)時(shí)，兩者在同一平面上的投影至少部分重合。本發(fā)明有助于縮小設(shè)備體積以降低設(shè)備成本和功耗。