一種電子束鈦膜支撐裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201620292581.5 申請日 -
公開（公告）號 CN205582879U 公開（公告）日 2016-09-14
申請公布號 CN205582879U 申請公布日 2016-09-14
分類號 H01J29/02(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 徐斌;蔡莉;趙躍春;姚江濤 申請（專利權）人 安徽戈瑞電子科技股份有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 230001 安徽省合肥市高新區(qū)動漫和服務外包產(chǎn)業(yè)發(fā)展基地B1座南樓606室
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種電子束鈦膜支撐裝置，包括鈦膜和支撐板，所述鈦膜上依次排列多組支撐板，所述多組支撐板之間為真空室，所述支撐板每組間隔距離為5㎜?10㎜，所述支撐板板寬為0.5㎜?1.0㎜，所述支撐板板高為5㎜?8㎜。本新型可以采用大面積的電子束輸出窗，使用較薄的鈦膜，使鈦膜在支撐結構下局部變形比較小，也比較均勻。