一種芯片平整度檢測裝置及檢測方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110781883.4 申請日 -
公開（公告）號(hào) CN113237442B 公開（公告）日 2021-09-24
申請公布號(hào) CN113237442B 申請公布日 2021-09-24
分類號(hào) G01B11/30;B65G47/91;B66C19/00;B66C1/02;B66C5/02;B66C9/10;B66C9/14;B66C13/08 分類 測量；測試;
發(fā)明人 王印璽 申請（專利權(quán)）人 江蘇澳芯微電子有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京棘龍知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 張開
地址 212000 江蘇省徐州市邳州市邳州經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)遼河路
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種芯片平整度檢測裝置及檢測方法，屬于芯片檢測設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域。一種芯片平整度檢測裝置，包括安裝箱，還包括：開設(shè)在安裝箱頂部的滑槽；滑動(dòng)在滑槽內(nèi)的氣動(dòng)伸縮桿；轉(zhuǎn)動(dòng)連接在氣動(dòng)伸縮桿輸出端的安裝盒；轉(zhuǎn)動(dòng)連接在安裝盒上的連接筒，其中，連接筒的底部延伸至安裝箱外固定連接有吸盤，連接筒設(shè)有多組，多組連接筒上均固定連接有第一齒輪，多組第一齒輪相互嚙合；動(dòng)力組件，設(shè)置在安裝盒內(nèi)，用于驅(qū)動(dòng)連接筒轉(zhuǎn)動(dòng)；檢測組件，設(shè)置在安裝箱內(nèi)，用于對芯片進(jìn)行檢測；本發(fā)明通過使連接軸和安裝箱可以轉(zhuǎn)動(dòng)，調(diào)節(jié)芯片與檢測儀相對的面，從而可以同時(shí)對多組芯片的底面和側(cè)壁進(jìn)行平整度檢測，進(jìn)而提高檢測效率。