一種用于刻蝕晶片的石英承載盤

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN201310268837.X 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN103346110A 公開（公告）日 2013-10-09
申請(qǐng)公布號(hào) CN103346110A 申請(qǐng)公布日 2013-10-09
分類號(hào) H01L21/673(2006.01)I;H01L21/67(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 侯想;項(xiàng)藝;董志江;靳彩霞;楊新民 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 迪源光電股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京輕創(chuàng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊立
地址 430205 湖北省武漢市東湖高新技術(shù)開發(fā)區(qū)光谷一路227號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及一種用于刻蝕晶片的石英承載盤。該石英承載盤的上表面具有設(shè)定數(shù)目的用于放置晶片的第一圓形槽，所述石英承載盤的下表面與所述第一圓形槽對(duì)應(yīng)的位置具有第二圓形槽，所述第二圓形槽中填充有導(dǎo)電導(dǎo)熱物質(zhì)。本發(fā)明用于刻蝕晶片的石英承載盤，提高了石英承載盤的使用壽命，提高了刻蝕速率和散熱性能。