一種粗化材料表面粗化圖形的去除方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201310729987.6 申請日 -
公開（公告）號 CN103730350A 公開（公告）日 2014-04-16
申請公布號 CN103730350A 申請公布日 2014-04-16
分類號 H01L21/311(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 翟陽;項藝;艾常濤 申請（專利權）人 迪源光電股份有限公司
代理機構 北京匯澤知識產(chǎn)權代理有限公司 代理人 毛廣杰
地址 430074 湖北省武漢市東湖開發(fā)區(qū)光谷一路227號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開一種粗化材料表面粗化圖形的去除方法，具體為在粗化圖形的表面形成掩膜；在掩膜的表面形成光刻膠，并利用曝光掉需要去除的粗化圖形上方的光刻膠；利用刻蝕工藝，將需要去除的粗化圖形及其表面的掩膜刻蝕去除，并去除多余的掩膜和光刻膠，得到去除粗化圖形的粗化材料?？涛g過程中粗化材料與掩膜之間的刻蝕速率選擇比為0.9:1～1:0.9。本發(fā)明填補了定向去除粗化圖形的技術空白，并且可以廣泛應用于薄膜沉積、刻蝕后的材料表面形貌處理?？啥ㄏ蛉コ牧媳砻娲只瘓D形，解決了粗化表面生長薄膜不平滑的外觀問題，同時還解決了粗化表面生長金屬粘附力差的技術問題。有效解決了粗化表面難以生長出理想結構薄膜的問題。