一種單晶硅生產(chǎn)用排氣式石墨坩堝
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202121039140.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開(kāi)（公告）號(hào) | CN215947454U | 公開(kāi)（公告）日 | 2022-03-04 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN215947454U | 申請(qǐng)公布日 | 2022-03-04 |
| 分類號(hào) | C30B15/12（2006.01）I;C30B15/02（2006.01）I;C30B15/00（2006.01）I;C30B29/06（2006.01）I | 分類 | 晶體生長(zhǎng)〔3〕; |
| 發(fā)明人 | 滿新哲;鄭振霞;郟建偉 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 山東恒圣石墨科技有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | - | 代理人 | - |
| 地址 | 272400山東省濟(jì)寧市嘉祥縣萬(wàn)張工業(yè)園（德豐重工公司西80米） | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本實(shí)用新型涉及一種單晶硅生產(chǎn)用排氣式石墨坩堝，爐體內(nèi)設(shè)保溫筒，爐體與保溫筒之間設(shè)保溫氈，保溫筒內(nèi)設(shè)加熱器，加熱器固定在爐體底部且與爐體底部的加熱電極相連接，爐體下表面中部貫穿固定坩堝軸，坩堝軸上端設(shè)坩堝托盤(pán)，坩堝托盤(pán)上表面放置石墨坩堝，石墨坩堝外側(cè)壁開(kāi)設(shè)螺紋形凹槽，石墨坩堝內(nèi)設(shè)石英坩堝，保溫氈、保溫筒上表面放置同一個(gè)保溫蓋，保溫蓋與爐體固定，倒流筒下部插入石英坩堝上部，倒流筒上部與保溫蓋下表面內(nèi)側(cè)固定，真空抽管依次固定貫穿爐體、保溫氈、保溫筒下部，爐體一側(cè)設(shè)抽氣泵，抽氣泵上的進(jìn)氣口與真空抽管通過(guò)軟管連通固定。本實(shí)用新型有益效果：石墨坩堝不會(huì)被漲破。 |
