一種便于平面靶材翻轉(zhuǎn)的靶材放置裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202120628493.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214777321U 公開（公告）日 2021-11-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN214777321U 申請(qǐng)公布日 2021-11-19
分類號(hào) B65D19/06（2006.01）I;B65D19/38（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運(yùn)薄的或細(xì)絲狀材料;
發(fā)明人 念雯雯;李帥方;李金龍 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 洛陽豐聯(lián)科綁定技術(shù)有限公司
代理機(jī)構(gòu) 鄭州知己知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 楊小燕
地址 471100河南省洛陽市孟津縣常袋鎮(zhèn)半坡村隆華大道66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種便于平面靶材翻轉(zhuǎn)的靶材放置裝置，屬于半導(dǎo)體制造技術(shù)領(lǐng)域，包括箱體和設(shè)置在箱體底部的若干支座，箱體內(nèi)部設(shè)置內(nèi)襯，內(nèi)襯上設(shè)置若干靶材基座，靶材基座上部放置第一承重板，第一承重板上部放置第二承重板，箱體兩端對(duì)稱位置設(shè)置開口，第二承重板內(nèi)部沿水平方向中心軸設(shè)置一根轉(zhuǎn)軸，開口外側(cè)設(shè)置油壓千斤頂，油壓千斤頂?shù)恼{(diào)節(jié)螺桿上部設(shè)置支撐件，轉(zhuǎn)軸的兩端從所述開口處伸出與支撐件活動(dòng)連接，第二承重板上表面放置靶材背板，靶材背板上部為綁定后的靶材，靶材背板通過螺栓與第二承重板固定連接。本實(shí)用新型可以自動(dòng)省力的將待檢查的靶材進(jìn)行翻轉(zhuǎn)，平且在翻轉(zhuǎn)和存放的過程中能夠有效減少靶材的形變，從而保證靶材的質(zhì)量。