一種便于平面靶材翻轉的靶材放置裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202120628493.9 申請日 -
公開（公告）號 CN214777321U 公開（公告）日 2021-11-19
申請公布號 CN214777321U 申請公布日 2021-11-19
分類號 B65D19/06（2006.01）I;B65D19/38（2006.01）I 分類 輸送；包裝；貯存；搬運薄的或細絲狀材料;
發(fā)明人 念雯雯;李帥方;李金龍 申請（專利權）人 洛陽豐聯(lián)科綁定技術有限公司
代理機構 鄭州知己知識產權代理有限公司 代理人 楊小燕
地址 471100河南省洛陽市孟津縣常袋鎮(zhèn)半坡村隆華大道66號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 一種便于平面靶材翻轉的靶材放置裝置，屬于半導體制造技術領域，包括箱體和設置在箱體底部的若干支座，箱體內部設置內襯，內襯上設置若干靶材基座，靶材基座上部放置第一承重板，第一承重板上部放置第二承重板，箱體兩端對稱位置設置開口，第二承重板內部沿水平方向中心軸設置一根轉軸，開口外側設置油壓千斤頂，油壓千斤頂的調節(jié)螺桿上部設置支撐件，轉軸的兩端從所述開口處伸出與支撐件活動連接，第二承重板上表面放置靶材背板，靶材背板上部為綁定后的靶材，靶材背板通過螺栓與第二承重板固定連接。本實用新型可以自動省力的將待檢查的靶材進行翻轉，平且在翻轉和存放的過程中能夠有效減少靶材的形變，從而保證靶材的質量。