省水型晶圓清洗機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121309843.1 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214865752U 公開（公告）日 2021-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN214865752U 申請(qǐng)公布日 2021-11-26
分類號(hào) B08B3/12（2006.01）I;B08B13/00（2006.01）I 分類 清潔;
發(fā)明人 方廷宇;游禮仲;許忠信;張峰;李東冉 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東強(qiáng)茂電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 255000山東省淄博市高新區(qū)中潤(rùn)大道186號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種省水型晶圓清洗機(jī)。該技術(shù)方案摒棄了常規(guī)的沖洗模式，采用超聲波進(jìn)行靜態(tài)清洗，在此基礎(chǔ)上，圍繞超聲波清洗槽設(shè)計(jì)了自動(dòng)化的上下料機(jī)構(gòu)。具體來看，本實(shí)用新型將超聲波清洗槽固定于基臺(tái)上，兩側(cè)分別設(shè)置置物架和瀝水架，二者可在升降機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)下升降，從而實(shí)現(xiàn)半自動(dòng)化的上下料功能；在超聲波清洗槽后側(cè)，采用滑臺(tái)、電動(dòng)推桿、轉(zhuǎn)盤構(gòu)建了三自由度的運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)，該運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)末端設(shè)置吸盤式機(jī)械手，用于吸取晶圓；依托于三自由度的復(fù)合運(yùn)動(dòng)，使吸盤式機(jī)械手上的晶圓可沿弧線經(jīng)過超聲波清洗槽，并停留一定時(shí)間，從而達(dá)到清洗目的。與常規(guī)晶圓清洗機(jī)相比，本實(shí)用新型更加省水，且清洗速度較快，具有良好的使用效果。