改良型晶圓刮刀成膜法制程工藝涂布機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121310450.2 申請日 -
公開（公告）號 CN215823527U 公開（公告）日 2022-02-15
申請公布號 CN215823527U 申請公布日 2022-02-15
分類號 B05C11/10（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I 分類 一般噴射或霧化；對表面涂覆液體或其他流體的一般方法〔2〕;
發(fā)明人 方廷宇;游禮仲;許忠信;王永震;袁斌 申請（專利權）人 山東強茂電子科技有限公司
代理機構 - 代理人 -
地址 255000山東省淄博市高新區(qū)中潤大道186號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種改良型晶圓刮刀成膜法制程工藝涂布機。其構造為：在漏斗的上端口處固定連接有陶瓷罐，在漏斗的上端口處、位于漏斗與陶瓷罐之間的位置固定連接有篩網，在漏斗的變徑部下端固定連接有濾網，在漏斗的上端口內壁上固定連接有若干固定桿；篩網包括同心環(huán)，折角連接桿，掛環(huán)，所述同心環(huán)有若干個，在若干同心環(huán)之間固定連接有折角連接桿，在位于最外圈的同心環(huán)上固定連接有若干掛環(huán)；掛環(huán)掛接在固定桿上。本實用新型在漏斗的上端口處增設了由金屬絲構成的篩網，使球石得以架高，使得DB膠可以快速與球石分開，直接通過漏斗進入玻璃瓶，倒膠結束后球石上完全干凈，無DB膠殘留。新濾網間隙大，DB膠通過較順暢。