新型低耗顯影機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121601410.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214896210U 公開（公告）日 2021-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN214896210U 申請(qǐng)公布日 2021-11-26
分類號(hào) G03F7/30（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 方廷宇;游禮仲;許忠信;王永震;唐守莊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東強(qiáng)茂電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 255000山東省淄博市高新區(qū)中潤大道186號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種新型低耗顯影機(jī)。該技術(shù)方案對(duì)顯影機(jī)的容納機(jī)構(gòu)進(jìn)行了集中改進(jìn)。具體來看，本實(shí)用新型在不改變顯影原理的前提下，將倉體設(shè)計(jì)為圓柱形結(jié)構(gòu)，在倉體側(cè)壁設(shè)置若干門體，可分別進(jìn)料；倉體內(nèi)部設(shè)置轉(zhuǎn)盤機(jī)構(gòu)，利用轉(zhuǎn)盤上的多個(gè)托盤可同時(shí)承載多個(gè)晶圓，位于上方的電機(jī)可驅(qū)動(dòng)支架在轉(zhuǎn)盤上方旋轉(zhuǎn)，從而將罩體定位至多個(gè)托盤上方，進(jìn)而籠罩在晶圓外部。此外，本實(shí)用新型在倉體上增設(shè)了真空泵，可在顯影過程中構(gòu)建負(fù)壓環(huán)境，以減少外部環(huán)境因素對(duì)顯影工藝的影響。應(yīng)用本實(shí)用新型，可顯著提高顯影工藝效率，并降低能耗水平，從而提高整體工藝水平。