新型晶圓晶舟

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121600509.1 申請日 -
公開（公告）號 CN214898360U 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN214898360U 申請公布日 2021-11-26
分類號 H01L21/673（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 方廷宇;游禮仲;許忠信;張峰;李東冉;唐守莊 申請（專利權(quán)）人 山東強(qiáng)茂電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 255000山東省淄博市高新區(qū)中潤大道186號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種新型晶圓晶舟。其構(gòu)造為：在承載平面的上端邊緣固定連接有若干長方體立柱，在相對的長方體立柱之間固定連接有連接桿，在長方體立柱的內(nèi)側(cè)具有倒角，承載平面、長方體立柱、連接桿均為石英材質(zhì)。本實(shí)用新型將垂直立柱由原來的圓柱體，改為長方體立柱，可能接觸到晶片的位置做了倒圓角處理，增了垂直立柱的強(qiáng)度，防止1200℃高溫下發(fā)生變形；為了防止在轉(zhuǎn)運(yùn)過程中晶片側(cè)滑，在加工時(shí)表面做了磨砂處理。在使用壽命方面：在無外力撞擊及人為磕碰，1200℃高溫制程狀況下，碳化硅材質(zhì)明顯要優(yōu)于石英材質(zhì)；在維護(hù)費(fèi)用方面：一旦發(fā)生破損，需要委外維修的維護(hù)費(fèi)用，石英材質(zhì)明顯要優(yōu)于碳化硅材質(zhì)。