新型串口通信協(xié)議自動(dòng)點(diǎn)測(cè)機(jī)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202121310451.7 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN214894893U 公開（公告）日 2021-11-26
申請(qǐng)公布號(hào) CN214894893U 申請(qǐng)公布日 2021-11-26
分類號(hào) G01N21/84（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 方廷宇;游禮仲;許忠信;張峰;李東冉;唐守莊 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 山東強(qiáng)茂電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) - 代理人 -
地址 255000山東省淄博市高新區(qū)中潤(rùn)大道186號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型提供了一種新型串口通信協(xié)議自動(dòng)點(diǎn)測(cè)機(jī)。該技術(shù)方案對(duì)傳感器的承載模式及其定位機(jī)構(gòu)進(jìn)行了集中改進(jìn)。具體來(lái)看，本實(shí)用新型以機(jī)臺(tái)起到基礎(chǔ)承載作用，在機(jī)臺(tái)上設(shè)置帶有升降架的滑車，承載臂插接在升降架上，其前端固定有傳感器；基于這種構(gòu)造，可自由調(diào)節(jié)傳感器的高度及其前后位置，還可利用滑車將傳感器上的探頭在槽體中自由定位，定位完畢后可通過(guò)鎖緊螺釘及頂絲予以固定，從而充分?jǐn)U展了設(shè)備的運(yùn)動(dòng)自由度。此外，本實(shí)用新型在探頭下端設(shè)置了擴(kuò)展槽，可利用其安裝帶有滑輪的定位桿，當(dāng)探頭沿槽體平移時(shí)，滑輪可全程與待測(cè)晶圓接觸，起到定位作用，使線性檢測(cè)時(shí)探頭的穩(wěn)定性更好，有助于保證檢測(cè)精度。