新型晶圓低耗氮清洗后旋干機

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202121601409.0 申請日 -
公開（公告）號 CN214892392U 公開（公告）日 2021-11-26
申請公布號 CN214892392U 申請公布日 2021-11-26
分類號 F26B11/18（2006.01）I;F26B5/04（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I;F26B25/02（2006.01）I;F26B25/18（2006.01）I 分類 干燥;
發(fā)明人 方廷宇;游禮仲;許忠信;王永震;宋汝明 申請（專利權(quán)）人 山東強茂電子科技有限公司
代理機構(gòu) - 代理人 -
地址 255000山東省淄博市高新區(qū)中潤大道186號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型提供了一種新型晶圓低耗氮清洗后旋干機。該技術(shù)方案對旋干機的內(nèi)部構(gòu)造進行了創(chuàng)新性改進。具體來看，本實用新型采用單轉(zhuǎn)軸驅(qū)動，在單轉(zhuǎn)軸上縱向排列多個轉(zhuǎn)盤，從而在有限的空間中充分擴大了承載能力；同時，轉(zhuǎn)盤上設(shè)置多個帶有卡爪的托盤，可對晶圓起到有效的固定作用；機倉內(nèi)部設(shè)置排水管和氣體調(diào)節(jié)管，其中氣體調(diào)節(jié)管可連接至氮氣氣源或真空泵，從而引入氮氣保護或構(gòu)建真空環(huán)境，進而提升干燥速度。應(yīng)用本實用新型，可顯著增進處理效率和干燥速度，具有良好的使用效果和突出的技術(shù)優(yōu)勢。