一種柔性壓力傳感器及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN201710323458.4 申請日 -
公開（公告）號 CN106959176B 公開（公告）日 2019-06-07
申請公布號 CN106959176B 申請公布日 2019-06-07
分類號 G01L1/14（2006.01）I; G01L9/12（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 劉國棟; 鄭娜; 肖國輝 申請（專利權(quán)）人 蕪湖芯硅智電子科技有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南昌大牛專利代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 喻莎
地址 330000 江西省南昌市紅谷灘新區(qū)紅角洲學(xué)府大道589號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供的一種柔性壓力傳感器及其制備方法，包括上電極、下電極和介電層，所述上電極、下電極為金納米棒嵌入PDMS的多尺度電極，所述介電層為聚氨酯和去離子水形成的多孔彈性體薄膜。本發(fā)明公開的一種柔性壓力傳感器及其制備方法，測量壓強(qiáng)范圍廣，大大提高低壓強(qiáng)狀態(tài)下的靈敏度，模具制備簡單，成本低。