評(píng)估袋裝多晶硅干燥效果的方法

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202111197335.3 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113865288A 公開（公告）日 2021-12-31
申請(qǐng)公布號(hào) CN113865288A 申請(qǐng)公布日 2021-12-31
分類號(hào) F26B9/06（2006.01）I;F26B21/12（2006.01）I;F26B21/14（2006.01）I;F26B25/00（2006.01）I;F26B25/22（2006.01）I 分類 干燥;
發(fā)明人 吳家印;徐玲鋒;孫志東 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇鑫華半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京清亦華知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所（普通合伙） 代理人 尚偉凈
地址 221004江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)楊山路66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了評(píng)估袋裝多晶硅干燥效果的方法。該方法包括：提供露點(diǎn)儀；將氮?dú)膺M(jìn)氣管路連接至露點(diǎn)儀，對(duì)露點(diǎn)儀內(nèi)氣氛進(jìn)行置換；在袋裝多晶硅樣品上設(shè)置進(jìn)氣口和出氣口，將氮?dú)膺M(jìn)氣管路連接至進(jìn)氣口，在出氣口設(shè)置連接至露點(diǎn)儀的管路；利用氮?dú)膺M(jìn)氣管路，經(jīng)過袋裝多晶硅樣品向露點(diǎn)儀通入氮?dú)?，并測(cè)定得到氮?dú)獾穆饵c(diǎn)值；根據(jù)氮?dú)獾穆饵c(diǎn)值，評(píng)估袋裝多晶硅樣品的干燥效果。該方法可以準(zhǔn)確評(píng)估袋裝多晶硅干燥效果，并對(duì)袋裝多晶硅中的水分含量進(jìn)行定量分析。