一種多晶硅清洗液的評(píng)估方法
基本信息
| 申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN202111058646.1 | 申請(qǐng)日 | - |
| 公開（公告）號(hào) | CN113624704B | 公開（公告）日 | 2022-02-15 |
| 申請(qǐng)公布號(hào) | CN113624704B | 申請(qǐng)公布日 | 2022-02-15 |
| 分類號(hào) | G01N21/31（2006.01）I | 分類 | 測(cè)量；測(cè)試; |
| 發(fā)明人 | 張?zhí)煊?王敏;王付剛;吳鵬 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 | 江蘇鑫華半導(dǎo)體科技股份有限公司 |
| 代理機(jī)構(gòu) | 北京錦信誠(chéng)泰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人 | 倪青華 |
| 地址 | 221004江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)楊山路66號(hào) | ||
| 法律狀態(tài) | - | ||
摘要
| 摘要 | 本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種多晶硅清洗液的評(píng)估方法，包括以下步驟：建立循環(huán)系統(tǒng)，自對(duì)多晶硅清洗液進(jìn)行存儲(chǔ)的槽體一處對(duì)部分清洗液進(jìn)行抽取，且自另一處將抽取的清洗液返送回槽體內(nèi)；對(duì)循環(huán)系統(tǒng)內(nèi)的清洗液進(jìn)行吸光度分析，獲得吸光度值；對(duì)吸光度值進(jìn)行信號(hào)轉(zhuǎn)化，獲得數(shù)字信號(hào)；通過(guò)數(shù)字信號(hào)對(duì)清洗液進(jìn)行評(píng)估。本發(fā)明中利用吸光度分析的方法確定HF/HNO3的水溶液組分變化，可以對(duì)清洗液的更換和調(diào)配提供可定量的判斷指標(biāo)，從而使得硅料刻蝕的過(guò)程獲得穩(wěn)定的控制，保證供下游拉直單晶使用的硅料具有較高的質(zhì)量，從而提高最終產(chǎn)品的穩(wěn)定性及可靠性。 |
