一種三氯硅烷的檢測(cè)前處理方法、裝置、檢測(cè)方法及裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110905705.8 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113533600A 公開（公告）日 2021-10-22
申請(qǐng)公布號(hào) CN113533600A 申請(qǐng)公布日 2021-10-22
分類號(hào) G01N30/06（2006.01）I;G01N30/02（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 張?zhí)煊?任天令;田新;吳鵬 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江蘇鑫華半導(dǎo)體科技股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京錦信誠(chéng)泰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 倪青華
地址 221004江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)楊山路66號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及檢測(cè)系統(tǒng)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種三氯硅烷的檢測(cè)前處理方法，常溫下，將液態(tài)的三氯硅烷噴灑入對(duì)氫氣進(jìn)行存儲(chǔ)的第一空間內(nèi)；對(duì)第一空間進(jìn)行壓縮，第一空間內(nèi)的氣體向第二空間內(nèi)流動(dòng)，且流動(dòng)過程中保持對(duì)第一空間的持續(xù)增壓狀態(tài)；當(dāng)?shù)谝豢臻g內(nèi)的壓力增大至第二設(shè)定值時(shí)，對(duì)第二空間進(jìn)行壓縮；第一空間內(nèi)的氣體完成向第二空間內(nèi)的流通，且第二空間內(nèi)的壓力增大至第一設(shè)定值前，完成三氯硅烷的氣化。通過本發(fā)明使得三氯硅烷可獲得均勻的氣相而進(jìn)入到氣象色譜儀中，有效降低了設(shè)備的損壞幾率，通過對(duì)三氯硅烷的精準(zhǔn)檢測(cè)，可保證電子級(jí)多晶硅的質(zhì)量得到有效保證，本發(fā)明中還請(qǐng)求保護(hù)一種三氯硅烷的檢測(cè)前處理裝置、檢測(cè)方法及裝置。