應(yīng)用于LED激光切割設(shè)備的X-Y-θ運(yùn)動(dòng)平臺(tái)
基本信息
申請(qǐng)?zhí)?/td> | CN200910031353.7 | 申請(qǐng)日 | - |
公開(公告)號(hào) | CN101570040A | 公開(公告)日 | 2009-11-04 |
申請(qǐng)公布號(hào) | CN101570040A | 申請(qǐng)公布日 | 2009-11-04 |
分類號(hào) | B28D5/04(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I | 分類 | 加工水泥、黏土或石料; |
發(fā)明人 | 趙裕興;胡劍 | 申請(qǐng)(專利權(quán))人 | 江陰德飛激光設(shè)備有限公司 |
代理機(jī)構(gòu) | 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人 | 蘇州德龍激光有限公司;江陰德飛激光設(shè)備有限公司;蘇州德龍激光股份有限公司;江陰德力激光設(shè)備有限公司 |
地址 | 215021江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹中路77號(hào) | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本發(fā)明涉及應(yīng)用于LED激光切割設(shè)備的X-Y-θ運(yùn)動(dòng)平臺(tái),包括X-Y軸和θ軸,X-Y軸和θ軸均呈中空結(jié)構(gòu),X-Y軸包含X軸傳送單元和Y軸傳送單元,X軸傳送單元包含X軸板和控制X軸板運(yùn)動(dòng)的直線馬達(dá),Y軸傳送單元包含Y軸板和控制Y軸板運(yùn)動(dòng)的直線馬達(dá),Y軸傳送單元安裝于X軸傳送單元的X軸板上,在Y軸傳送單元的Y軸板上設(shè)置θ軸,θ軸包括轉(zhuǎn)軸和控制轉(zhuǎn)軸旋轉(zhuǎn)的電機(jī),在θ軸的轉(zhuǎn)軸中安裝真空吸附模塊,真空吸附模塊的吸附平面高于θ軸轉(zhuǎn)軸的表面,X-Y軸布置在底板上。應(yīng)用于LED激光切割設(shè)備中X-Y-θ運(yùn)動(dòng)平臺(tái)實(shí)現(xiàn)了自身慣量小、啟動(dòng)和停止時(shí)間短、微米級(jí)定位、切割道秒級(jí)角度調(diào)整功能,滿足晶圓切割量產(chǎn)的要求。 |
