應(yīng)用于LED激光切割設(shè)備的同軸影像系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200910027563.9 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN101559629B 公開（公告）日 2011-08-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN101559629B 申請(qǐng)公布日 2011-08-17
分類號(hào) B28D7/00(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I;G01B11/00(2006.01)I;H01L33/00(2006.01)I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 趙裕興;徐海賓 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 江陰德飛激光設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇科專利代理有限責(zé)任公司 代理人 蘇州德龍激光有限公司;江陰德力激光設(shè)備有限公司;蘇州德龍激光股份有限公司
地址 215021 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹中路77號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及應(yīng)用于LED激光切割設(shè)備的同軸影像系統(tǒng)應(yīng)，包括同軸LED點(diǎn)光源模組、45度全反鏡、廣角CCD模組、第一45度分光鏡、小視野高倍率上CCD模組、第二45度分光鏡、波長(zhǎng)選擇鏡、LED環(huán)形光源、聚焦鏡、小視野高倍率下CCD模組，同軸LED點(diǎn)光源模組、廣角CCD模組和小視野高倍率上CCD模組三者自上而下并排排布，波長(zhǎng)選擇鏡安裝在上CCD模組與聚焦鏡之間，LED環(huán)形光源緊貼在聚焦鏡上，聚焦鏡正對(duì)于工件，在工件的下方安裝小視野高倍率下CCD模組。本發(fā)明實(shí)現(xiàn)在LED激光切割設(shè)備中的同軸實(shí)時(shí)影像定位功能，廣角CCD和小視野高倍率上CCD組合使用實(shí)現(xiàn)微米量級(jí)的測(cè)量精細(xì)度，小視野高倍率上CCD和小視野高倍率下CCD便捷切換滿足正切、背切、表面粗化和背鍍鋁晶圓的切割。