新型應用于LED激光切割設備的X-Y-θ運動平臺

基本信息

申請?zhí)?/td> CN200920038934.9 申請日 -
公開（公告）號 CN201530059U 公開（公告）日 2010-07-21
申請公布號 CN201530059U 申請公布日 2010-07-21
分類號 B28D5/04(2006.01)I;B28D7/04(2006.01)I;B23K26/38(2006.01)I 分類 加工水泥、黏土或石料;
發(fā)明人 趙裕興;胡劍 申請（專利權）人 江陰德飛激光設備有限公司
代理機構 南京蘇科專利代理有限責任公司 代理人 蘇州德龍激光有限公司;江陰德飛激光設備有限公司;江陰德力激光設備有限公司
地址 215021 江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹中路77號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及應用于LED激光切割設備的X-Y-θ運動平臺，包括X-Y軸和θ軸，X-Y軸和θ軸均呈中空結構，X-Y軸包含X軸傳送單元和Y軸傳送單元，X軸傳送單元包含X軸板和控制X軸板運動的直線馬達，Y軸傳送單元包含Y軸板和控制Y軸板運動的直線馬達，Y軸傳送單元安裝于X軸傳送單元的X軸板上，在Y軸傳送單元的Y軸板上設置θ軸，θ軸包括轉軸和控制轉軸旋轉的電機，在θ軸的轉軸中安裝真空吸附模塊，真空吸附模塊的吸附平面高于θ軸轉軸的表面，X-Y軸布置在底板上。應用于LED激光切割設備中X-Y-θ運動平臺實現(xiàn)了自身慣量小、啟動和停止時間短、微米級定位、切割道秒級角度調整功能，滿足晶圓切割量產(chǎn)的要求。