一種新型應(yīng)用于LED激光切割設(shè)備的同軸影像系統(tǒng)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN200920045235.7 申請(qǐng)日 -
公開(kāi)(公告)號(hào) CN201408286Y 公開(kāi)(公告)日 2010-02-17
申請(qǐng)公布號(hào) CN201408286Y 申請(qǐng)公布日 2010-02-17
分類(lèi)號(hào) G02B23/00(2006.01)I;B23K26/42(2006.01)I 分類(lèi) 光學(xué);
發(fā)明人 趙裕興;徐海賓 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人 江陰德飛激光設(shè)備有限公司
代理機(jī)構(gòu) 南京蘇科專(zhuān)利代理有限責(zé)任公司 代理人 蘇州德龍激光有限公司;江陰德飛激光設(shè)備有限公司;蘇州德龍激光股份有限公司;江陰德力激光設(shè)備有限公司
地址 215021江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)蘇虹中路77號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型涉及應(yīng)用于LED激光切割設(shè)備的同軸影像系統(tǒng),包括同軸LED點(diǎn)光源模組、45度全反鏡、廣角CCD模組、第一45度分光鏡、小視野高倍率上CCD模組、第二45度分光鏡、波長(zhǎng)選擇鏡、LED環(huán)形光源、聚焦鏡、小視野高倍率下CCD模組,同軸LED點(diǎn)光源模組、廣角CCD模組和小視野高倍率上CCD模組三者自上而下并排排布,波長(zhǎng)選擇鏡安裝在上CCD模組與聚焦鏡之間,LED環(huán)形光源緊貼在聚焦鏡上,聚焦鏡正對(duì)于工件,在工件的下方安裝小視野高倍率下CCD模組。本實(shí)用新型實(shí)現(xiàn)在LED激光切割設(shè)備中的同軸實(shí)時(shí)影像定位功能,廣角CCD和小視野高倍率上CCD組合使用實(shí)現(xiàn)微米量級(jí)的測(cè)量精細(xì)度,小視野高倍率上CCD和小視野高倍率下CCD便捷切換滿(mǎn)足正切、背切、表面粗化和背鍍鋁晶圓的切割。