基于MEMS超聲波換能器芯片的超聲波流量計

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202110684568.X 申請日 -
公開（公告）號 CN113405618A 公開（公告）日 2021-09-17
申請公布號 CN113405618A 申請公布日 2021-09-17
分類號 G01F1/66（2006.01）I;G01F15/18（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙瀟;夏登明;胡國俊 申請（專利權）人 智馳華芯（無錫）傳感科技有限公司
代理機構 無錫華源專利商標事務所（普通合伙） 代理人 過顧佳;聶啟新
地址 214000江蘇省無錫市菱湖大道200號中國傳感網(wǎng)國際創(chuàng)新園F6
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明公開了一種基于MEMS超聲波換能器芯片的超聲波流量計，涉及超聲波流量計領域，該超聲波流量計基于MEMS超聲波換能器芯片設計，MEMS超聲波組件設置在連通主管道的支流管道內(nèi)，通過主管道內(nèi)部的阻流結構的作用將主管道流入支流管道內(nèi)的流體流速調整降低至MEMS超聲波換能器芯片的可應用范圍內(nèi)，使得可利用MEMS超聲波換能器芯片實現(xiàn)預定流速范圍和精度需求的流量計量要求，同時得益于MEMS芯片的小尺寸，整個超聲波流量計的結構緊湊小巧。