一種基于MEMS質量流量傳感器的流量測量裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022998758.2 申請日 -
公開（公告）號 CN213515819U 公開（公告）日 2021-06-22
申請公布號 CN213515819U 申請公布日 2021-06-22
分類號 G01F1/76（2006.01）I;G01F15/18（2006.01）I;G01F15/00（2006.01）I 分類 測量；測試;
發(fā)明人 趙瀟;夏登明;胡國俊 申請（專利權）人 智馳華芯（無錫）傳感科技有限公司
代理機構 無錫華源專利商標事務所（普通合伙） 代理人 聶啟新
地址 214000江蘇省無錫市菱湖大道200號中國傳感網國際創(chuàng)新園F6
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型公開了一種基于MEMS質量流量傳感器的流量測量裝置，涉及流體流量測試領域，包括：主流道、整流器件、旁支通道和MEMS質量流量傳感器，整流器件安裝在主流道的內腔中，旁支通道安裝在主流道的殼體外表面上，旁支通道的內腔中安裝有MEMS質量流量傳感器，旁支通道包括旁支通道流入管和旁支通道流出管，旁支通道分別通過旁支通道流入管和旁支通道流出管連通到主流道上的第一通道口和第二通道口，整流器件包括導流件和支撐件，導流件的外壁通過支撐件固定在主流道的內壁，一方面能夠減小主流道的有效管徑，降低流體的雷諾數(shù)，保證流體的平穩(wěn)性，另一方面能夠驅動流體流過旁支通道，實現(xiàn)流體流量的測量。