一種刻蝕水洗裝置

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202022843477.X 申請日 -
公開（公告）號 CN213752638U 公開（公告）日 2021-07-20
申請公布號 CN213752638U 申請公布日 2021-07-20
分類號 H01L21/67（2006.01）I;H01L31/18（2006.01）I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳沖;楊曉君;仲偉佳;任現(xiàn)坤;宋超;曹振;葛永見;郭瑞靜;韓其家;張洪巖 申請（專利權）人 山東力諾太陽能電力股份有限公司
代理機構 濟南舜源專利事務所有限公司 代理人 于曉曉
地址 250103山東省濟南市歷城區(qū)經(jīng)十東路30766號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實用新型涉及太陽能電池技術領域，具體涉及一種刻蝕水洗裝置，所述刻蝕水洗裝置包括刻蝕裝置、水洗裝置、輸送裝置和控制器，所述刻蝕裝置包括第一刻蝕組件和第二刻蝕組件；所述水洗裝置包括對應設置的噴頭和水槽；所述輸送裝置包括刻蝕輸送輥組、旋轉吸取器和水洗輸送輥組，所述第一刻蝕組件和第二刻蝕組件沿硅片前進方向依次設置在刻蝕輸送輥組上，所述旋轉吸取器設置在第一刻蝕組件和第二刻蝕組件之間，所述水洗輸送輥組設置在所述水槽上方、所述噴頭下方；所述刻蝕裝置、水洗裝置和輸送裝置分別與控制器電連接。該裝置首先對硅片四個側面進行刻蝕，解決電池存在短路環(huán)的問題，再通過水洗裝置去除磷硅玻璃。