一種高效晶體硅太陽能電池及其制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011474658.8 申請日 -
公開（公告）號 CN112599609A 公開（公告）日 2021-04-02
申請公布號 CN112599609A 申請公布日 2021-04-02
分類號 H01L31/068(2012.01)I;H01L31/18(2006.01)I;H01L31/0216(2014.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 任現(xiàn)坤;楊曉君;仲偉佳;葛永見;曹振;郭瑞靜;陳沖 申請（專利權(quán)）人 山東力諾太陽能電力股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 濟(jì)南舜源專利事務(wù)所有限公司 代理人 于曉曉
地址 250103山東省濟(jì)南市歷城區(qū)經(jīng)十東路30766號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及太陽能電池技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種高效晶體硅太陽能電池及其制備方法，所述高效晶體硅太陽能電池的制備方法包括：(1)硅片前處理：將潔凈的硅片置于碳氮共滲爐中，抽真空后通入甲烷和氨氣的混合氣體，溫度為800～1200℃，時間為30～240min，甲烷的流量為0.8～1.0m3/h，氨氣的流量為0.5～0.75m3/h，碳勢為0.9％～1.2％；(2)制絨；(3)擴(kuò)散；(4)刻蝕；(5)鈍化；(6)絲網(wǎng)印刷；(7)退火燒結(jié)。本發(fā)明通過對硅片進(jìn)行前處理，增強(qiáng)了由SiNx：H薄膜擴(kuò)散到硅片中的氫的穩(wěn)定性，減少了一定溫度及光照下氫的釋放量。??