一種抗LeTID鈍化接觸太陽能電池及其生產(chǎn)工藝

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202011377994.0 申請日 -
公開（公告）號 CN112510116A 公開（公告）日 2021-03-16
申請公布號 CN112510116A 申請公布日 2021-03-16
分類號 H01L31/068(2012.01)I;H01L31/0216(2014.01)I;H01L31/18(2006.01)I 分類 基本電氣元件;
發(fā)明人 陳沖;任現(xiàn)坤;楊曉君;張洪巖;葛永見;姜川;郭瑞靜;曹振;韓其家;宋超;仲偉佳 申請（專利權(quán)）人 山東力諾太陽能電力股份有限公司
代理機構(gòu) 濟南舜源專利事務(wù)所有限公司 代理人 于曉曉
地址 250103山東省濟南市歷城區(qū)經(jīng)十東路30766號
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明涉及太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種抗LeTID鈍化接觸太陽能電池及其生產(chǎn)工藝，所述生產(chǎn)工藝包括(1)制絨；(2)擴散；(3)激光二次擴散；(4)刻蝕水洗；(5)PECVD：在電池正面沉積減反膜；(6)磁控濺射：在電池背面沉積SiC層；(7)背面鈍化：在電池背面設(shè)置鈍化疊層，所述鈍化疊層為AlOx+SiNx；(8)背面摻硼、激光開窗：在電池背面旋涂硼源，之后用激光對硼源進行摻雜；(9)絲印燒結(jié)。本發(fā)明抗LeTID鈍化接觸太陽能電池采用SiC層阻擋氫向硅沉底遷移，通過對重摻雜、疊層鈍化及硼點背場的研究，使電池轉(zhuǎn)化效率達到23.28％，少子壽命達到4500μs。??