一種用于太陽能電池的刻蝕裝置
基本信息
申請?zhí)?/td> | CN202023004142.5 | 申請日 | - |
公開(公告)號 | CN213752640U | 公開(公告)日 | 2021-07-20 |
申請公布號 | CN213752640U | 申請公布日 | 2021-07-20 |
分類號 | H01L21/67(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I | 分類 | 基本電氣元件; |
發(fā)明人 | 仲偉佳;楊曉君;任現(xiàn)坤;宋超;張洪巖;郭瑞靜;姜川;曹振;葛永見;陳沖;韓其家 | 申請(專利權(quán))人 | 山東力諾太陽能電力股份有限公司 |
代理機構(gòu) | 濟南舜源專利事務(wù)所有限公司 | 代理人 | 于曉曉 |
地址 | 250103山東省濟南市歷城區(qū)經(jīng)十東路30766號 | ||
法律狀態(tài) | - |
摘要
摘要 | 本實用新型涉及一種用于太陽能電池的刻蝕裝置,屬于太陽能電池的技術(shù)領(lǐng)域。包括裝置本體、伸縮裝置和多個液體槽。所述裝置本體的內(nèi)部設(shè)有三個擋板,將裝置本體內(nèi)部依次分隔成第一區(qū)域、第二區(qū)域、第三區(qū)域和第四區(qū)域;所述裝置本體的上部設(shè)有滑軌;所述滑軌下方設(shè)置有伸縮裝置;所述第一區(qū)域設(shè)有液體槽Ⅱ;所述第二區(qū)域設(shè)有旋轉(zhuǎn)裝置;所述旋轉(zhuǎn)裝置包括旋轉(zhuǎn)軸和五個固定于旋轉(zhuǎn)軸上的連接桿;所述五個連接桿均勻分布在旋轉(zhuǎn)軸的圓周上;所述連接桿的另一端連接有液體槽Ⅰ;所述第三區(qū)域設(shè)有液體槽Ⅲ;所述第四區(qū)域設(shè)有熱風機。本實用新型合理的利用了空間,將原有的多個橫置液體槽收縮至類似轉(zhuǎn)盤的裝置上,減小了設(shè)備的占地面積。 |
