一種用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202122102247.2 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN215599041U 公開（公告）日 2022-01-21
申請(qǐng)公布號(hào) CN215599041U 申請(qǐng)公布日 2022-01-21
分類號(hào) G01N21/958（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I 分類 測(cè)量；測(cè)試;
發(fā)明人 申雪珍;鄒宇;張平 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 北京天科合達(dá)半導(dǎo)體股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 駱英靜
地址 221000江蘇省徐州市經(jīng)濟(jì)技術(shù)開發(fā)區(qū)創(chuàng)業(yè)路26號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本實(shí)用新型公開了一種用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置。該用于碳化硅晶片的檢測(cè)裝置包括支撐架；設(shè)置于支撐架上的晶片支撐組件，晶片支撐組件包括托板和支撐臺(tái)，托板上設(shè)有第一透光孔、晶片支撐臺(tái)階和避讓槽，晶片支撐臺(tái)階沿第一透光孔的圓周開設(shè)，并且晶片支撐臺(tái)階能夠與碳化硅晶片的外圓周相配合；以及用于檢測(cè)碳化硅晶片的目鏡。由于晶片支撐臺(tái)階沿第一透光孔的圓周開設(shè)，晶片支撐臺(tái)階能夠與碳化硅晶片的外圓周相配合，因此，晶片支撐臺(tái)階能對(duì)碳化硅晶片進(jìn)行定位，限制碳化硅晶片的移動(dòng)，減少碳化硅晶片的污染和損傷，同時(shí)，第一透光孔的設(shè)計(jì)減少了碳化硅晶片與托板的接觸面積，使得碳化硅晶片與托板之間的摩擦減小，進(jìn)一步減少了污染和損傷。