激光直寫光刻機(jī)制作的三維微納形貌結(jié)構(gòu)

基本信息

申請(qǐng)?zhí)?/td> CN202110667771.6 申請(qǐng)日 -
公開（公告）號(hào) CN113515021A 公開（公告）日 2021-10-19
申請(qǐng)公布號(hào) CN113515021A 申請(qǐng)公布日 2021-10-19
分類號(hào) G03F7/20（2006.01）I;G06T17/00（2006.01）I 分類 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)〔4〕;
發(fā)明人 陳林森;浦東林;張瑾;朱鳴;朱鵬飛;喬文;朱昊樞;劉曉寧;邵仁錦;楊穎 申請(qǐng)（專利權(quán)）人 蘇州蘇大維格科技集團(tuán)股份有限公司
代理機(jī)構(gòu) 蘇州簡(jiǎn)理知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 龐聰雅
地址 215123江蘇省蘇州市工業(yè)園區(qū)新昌路68號(hào)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供一種激光直寫光刻機(jī)制作的三維微納形貌結(jié)構(gòu)。所述三維微納形貌結(jié)構(gòu)包括:基體；形成于所述基體上的至少一個(gè)三維微納形貌單元，其中每個(gè)三維微納形貌單元包括至少一個(gè)視覺高點(diǎn)，所述每個(gè)三維微納形貌單元包括復(fù)數(shù)個(gè)從視覺高點(diǎn)開始斜坡形貌斜率按預(yù)設(shè)規(guī)律變化的環(huán)帶。所述三維微納形貌結(jié)構(gòu)具有非常逼真的立體視覺。