一種低成本可量產(chǎn)的高純碳化硅粉料的制備裝置和制備方法

基本信息

申請?zhí)?/td> CN202210241643.X 申請日 -
公開（公告）號 CN114515561A 公開（公告）日 2022-05-20
申請公布號 CN114515561A 申請公布日 2022-05-20
分類號 B01J19/24（2006.01）I;B01J19/00（2006.01）I;C01B32/984（2017.01）I 分類 一般的物理或化學(xué)的方法或裝置;
發(fā)明人 程章勇;張?jiān)苽?何麗娟;楊麗雯;李天運(yùn) 申請（專利權(quán)）人 合肥世紀(jì)金芯半導(dǎo)體有限公司
代理機(jī)構(gòu) 北京集佳知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 代理人 -
地址 231200安徽省合肥市高新區(qū)創(chuàng)新大道106號明珠產(chǎn)業(yè)園1#樓1層A區(qū)
法律狀態(tài) -

摘要

摘要 本發(fā)明提供了一種低成本可量產(chǎn)的高純碳化硅粉料的制備裝置，包括：坩堝，所述坩堝包括具有多孔結(jié)構(gòu)的外層坩堝以及設(shè)置于所述外層坩堝內(nèi)部的內(nèi)層坩堝；開設(shè)于所述坩堝底部的、用于向坩堝內(nèi)部通入氬氣和氫氣的石墨管。本發(fā)明提供的制備裝置制備得到的碳化硅粉料粒徑均一，純度高，并且可以提高產(chǎn)品的產(chǎn)量。